申请公布号：CN110749629A
申请公布日：2020.02.04
发明人：徐迎庆、路奇、杨佳伟、贾艳红
摘要： 本发明实施例提供一种MEMS气体检测系统及方法，该系统包括：传感器阵列集成电路板、控制模块和调温模块；传感器阵列集成电路板包括多个MEMS气体传感器和至少一个多路复用?？?；调温?？橛糜诙訫EMS气体传感器进行加热；多个MEMS气体传感器采集气体信息后，通过多路复用模块，发送给控制?？椋豢刂颇？橛糜诳刂贫嗦犯从媚？?，获取MEMS气体传感器采集的气体信息，并发送至上位机进行分析。由于使用MEMS气体传感器，体积小，传感材料使用量会大大降低，且导电率相对较高，从而传感器电阻的动态范围较高，精度较高。通过多路复用模块发送给控制?？?，有效减少控制模块的信息通路数量，大幅降低了数据接口占用数量。
